Sự phát triển của công nghệ phòng sạch trong và ngoài nước cùng với sự phát triển của khoa học công nghệ, các sản phẩm công nghiệp luôn thay đổi theo từng ngày, các yêu cầu về công nghệ phòng sạch cũng không ngừng nâng cao, theo nhu cầu công nghệ sạch cao, việc phát sinh và thải ra các chất độc hại chắc chắn là rất nguy hiểm. Đối với phòng sạch nhà máy điện tử (sau đây gọi là phòng sạch điện tử), ở một góc độ nào đó, công nghệ phòng sạch là một phương tiện, và kiểm soát ô nhiễm là mục tiêu. Dù là bên trong phòng sạch điện tử hay môi trường bên ngoài, các chất rắn, lỏng, khí, vi rút sinh học... xuất hiện không đúng thời điểm và địa điểm, các yếu tố vật lý như vi tĩnh điện, sóng điện từ, bức xạ và các yếu tố nguy hiểm khác, có thể ảnh hưởng đến con người và môi trường bên ngoài.

Đặc điểm và một số quy định của phòng sạch điện tử

Phòng sạch điện tử có yêu cầu cao, điều khiển lưu lượng không khí, nhiệt độ, độ ẩm, chênh lệch áp suất, khí thải thiết bị theo yêu cầu Độ chiếu sáng và tốc độ gió tiết diện của phòng sạch được điều khiển theo thiết kế hoặc thông số kỹ thuật. Ngoài ra, phòng sạch điện tử có yêu cầu cực kỳ khắt khe về tĩnh điện. Các yêu cầu về độ ẩm đặc biệt nghiêm ngặt. Vì rất dễ sinh ra tĩnh điện trong phân xưởng quá khô, có thể gây hỏng tích hợp CMOS. Nói chung, nhiệt độ của phòng sạch nhà máy điện tử nên được kiểm soát ở khoảng 22 ℃ và độ ẩm tương đối nên được kiểm soát trong khoảng 50-60% (các xưởng sạch đặc biệt có quy định nhiệt độ và độ ẩm liên quan). Tại thời điểm này, tĩnh điện có thể được loại bỏ hiệu quả và mọi người cảm thấy thoải mái. Phân xưởng sản xuất chip, phòng sạch mạch tích hợp và phân xưởng sản xuất đĩa là những bộ phận quan trọng trong phân xưởng phòng sạch điện tử. Vì các sản phẩm điện tử có yêu cầu cực kỳ khắt khe về chất lượng và môi trường không khí trong nhà trong quá trình sản xuất và chế tạo nên chủ yếu kiểm soát hạt và bụi trôi nổi. Mục tiêu chính là các quy định nghiêm ngặt về nhiệt độ và độ ẩm, lượng không khí trong lành và tiếng ồn của môi trường.


1. Độ ồn (trạng thái trống) trong phân xưởng thanh lọc của nhà máy điện tử cấp 10.000: không được lớn hơn 65dB (A).

2. Chênh lệch áp suất giữa phân xưởng phòng sạch điện tử và ngoài trời không được nhỏ hơn 10Pa, và chênh lệch áp suất giữa khu vực sạch và khu vực không sạch có độ sạch không khí khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa.

3. Lượng gió tươi trong phân xưởng phòng sạch điện tử phải tối đa như sau:

(1) Bù tổng lượng không khí thải trong nhà và lượng không khí sạch cần thiết để duy trì giá trị áp suất dương trong phòng.

(2) Đảm bảo lượng không khí sạch / người / giờ trong phòng sạch điện tử không nhỏ hơn 40m3.

(3) Cần cung cấp không khí sạch cho lò sưởi của hệ thống điều hòa không khí lọc trong phân xưởng phòng sạch điện tử và cung cấp biện pháp bảo vệ ngắt điện khi quá nhiệt. Thể tích không khí của phòng sạch phải tối đa trong ba chỉ tiêu sau: thể tích không khí đảm bảo cấp độ sạch không khí của phòng sạch; thể tích không khí của phòng sạch nhà máy điện tử được xác định theo cách tính tải nhiệt độ ẩm; quy định cho phòng sạch nhà máy điện tử Lượng gió tươi được cung cấp.

 

Thiết bị phòng sạch VCR chuyên cung cấp các thiết bị cho các nhà thầu thi công phòng sạch điện tử

Chi tiết xin tham khảo tại website chính thức của chúng tôi:

https://vietnamcleanroom.com

Từ khóa: