30 Câu hỏi đầu tiên về FAB bán dẫn ở Phần 1 có giúp bạn hiểu hơn về môi trường này không? Hãy cùng đi đến với phần 2 – Tổng hợp 80+ Các câu hỏi về FAB bán dẫn để hiểu hơn về nó nhé.

Xem lại: Phần 1 - Các câu hỏi về FAB bán dẫn

7 Sự thật về nhà máy FAB bán dẫn

Phòng sạch điện tử - Tiêu chuẩn - Thiết kế - Thi công

31. LEL của khí là gì?

Trả lời:

LEL là viết tắt của cụm từ LOWER EXPLOSIVE LIMITED tức là giới hạn cháy nổ dưới, ký hiệu này được dùng để viết tắt cho những loại khí gas cháy nổ như CH4, i-C4H10, LPG … Vì vậy, LEL KHÔNG PHẢI LÀ TÊN LOẠI KHÍ mà chỉ là viết tắt cho những loại khí gas cháy nổ mà thôi.

32. Khi xảy ra cảnh báo rò rỉ khí gas thứ cấp (Leak HiHi) trong FAB, đèn cảnh báo gas (LAU) sẽ hoạt động như thế nào? Nhân viên trong FAB phải phản ứng như thế nào?

Trả lời:

Đèn đỏ và vàng của LAU nhấp nháy và còi kêu. Nhân viên vận hành trong LAB hãy làm theo lệnh truyền phát của ERC và sơ tán ngay lập tức.

33. Nêu đặc điểm của các chất hoá học trong hệ thống cung cấp hoá chất?

Trả lời:

(1) Axit / Xút (2) Dung môi (3) Bùn

34. Thiết bị bảo vệ tủ dung môi hữu cơ là gì?

Trả lời:

(1) Máy dò khí / nhiệt độ; (2) Bình chữa cháy CO2; bình chữa cháy carbon dioxide

35. Tổng công suất của thiết bị là bao nhiêu vôn?

Trả lời:

208V hoặc 380V

36. Nếu nguồn điện không có sẵn gần đó, có thể sử dụng dây nối dài mà không bị hạn chế không?

Trả lời: Không

37. Làm thế nào để lựa chọn thiết bị điện?

Trả lời:

Việc sử dụng các thiết bị điện cần sử dụng các loại máy có nhãn hiệu thông dụng và đã được chứng nhận

38. Công tắc có thể đóng / mở theo ý muốn không?

Trả lời:

Không được tự ý đóng / mở bất kỳ công tắc máy nào mà không có xác nhận, để ảnh hưởng đến dây chuyền sản xuất và các thương tích cho cá nhân.

39. Giả sử khả năng đóng cắt của cầu dao là 16 ampe, đường kính dây dẫn là 2,5mm2 và điện áp nguồn một pha 220 vôn, nếu sử dụng thiết bị điện một pha 5000W thì điều gì xảy ra?

Trả lời:

Cầu dao bị vấp

40. Khi nguồn điện của cục cấp điện bị ngắt, các nhân sự vẫn có thể yên tâm ở lại FAB?

Trả lời:

Khi nguồn điện của cục cung cấp điện bị ngắt, nhà máy vẫn có thể duy trì an toàn do có thiết bị máy phát điện khẩn cấp và hệ thống giám sát liên quan nên nhân sự vẫn có thể yên tâm ở lại FAB.

41. WPH là gì?

Trả lời:

Sản lượng chip WPH (wafer trên giờ) mỗi giờ

42. Làm thế nào để đo WPH?

Trả lời:

Giá trị WPH càng cao, sản lượng chip mỗi giờ càng cao và tốc độ càng nhanh.

43. Move là gì?

Trả lời:

Số bước quy trình được di chuyển bởi chip.

44. Giai đoạn di chuyển là gì?

Trả lời:

Một con chip hoàn thành quá trình của một Giai đoạn, được gọi là một Giai đoạn Di chuyển

45. Bước di chuyển là gì?

Trả lời:

Một con chip hoàn thành quá trình của một Bước, được gọi là Bước di chuyển.

46. Mối quan hệ giữa giai đoạn và bước là gì?

Trả lời:

Các bước của cùng một mục đích của quy trình được gọi chung là một giai đoạn; ví dụ, giai đoạn có quy trình kiểm soát lò nung oxit dài thường cần được làm sạch và đo chiều dày của ống lò và chiều dày của ống lò. được đo trong 3 bước.

47. Giải thích thuật ngữ AMHS?

Trả lời:

AMHS là hệ thống xử lý nguyên liệu tự động. Hầu hết lô hàng của dây chuyền sản xuất được vận chuyển qua hệ thống hộp số tự động này.

48. Giải thích thuật ngữ SMIF?

Trả lời:

SMIF (Standard Mechanic InterFace) (để đảm bảo rằng chip đang hoạt động; không tiếp xúc với môi trường của phòng sạch; giao diện bắt buộc) Thiết bị được yêu cầu có FOUP / Loadport / Mini-environment, v.v.;

49. Tại sao SMIF có thể tiết kiệm chi phí nhà máy?

Trả lời:

Bạn chỉ cần kiểm soát các khu vực nhỏ sẽ ở trong quá trình chạy wafer dưới lớp 1 và độ sạch của các môi trường lớn khác chỉ cần được duy trì ở Class 100 hoặc cấp thấp hơn); Trong giao diện này, nó có thể được được gọi là Máy đóng gói không bao gồm người; chi phí duy trì sự sạch sẽ thấp; quần áo không bụi mà người vận hành mặc có thể được ưu tiên xem xét với độ thoáng khí cao hơn và thoải mái hơn

50. Tại sao SMIF có thể cải thiện năng suất sản phẩm?

Trả lời:

Vì bụi trong phòng sạch không dễ xâm nhập vào môi trường xử lý wafer

51. Giải thích danh từ không phải SMIF

Trả lời:

InterFace của thợ cơ khí không đạt tiêu chuẩn; chip sẽ tiếp xúc trong môi trường lớn của phòng sạch trong quá trình hoạt động, do đó, độ sạch của toàn bộ phòng sạch phải được duy trì ở cấp độ class1. Khi đó, chi phí của nhà máy cao.

52. Giải thích thuật ngữ SMIF FOUP?

Trả lời:

Thùng chứa WAFER, Bộ phận mở phía trước FOUP phù hợp với tiêu chuẩn SMIF

53. Giải thích thuật ngữ MES?

Trả lời:

Manfaucture Execution System: là hệ thống thực thi sản xuất, hệ thống nắm vững thông tin liên quan đến sản xuất, mô tả ngắn gọn một số điểm chính như sau:

(1) Nội dung / đặc điểm kỹ thuật / giới hạn của bước sản xuất của từng loại sản phẩm

(2) Tính khả dụng của tất cả các máy trên dây chuyền sản xuất. Trạng thái sử dụng: chẳng hạn như những chương trình có thể chạy, trạng thái máy thời gian thực (khả dụng / không khả dụng)

(3) Thông tin cơ bản của từng lô sản phẩm và tất cả dữ liệu trong quá trình sản xuất (giá trị kết quả chạy / đo trên các máy đó) / Thời điểm của từng bước / Ai xử lý / Có vấn đề kỹ thuật nào trong quá trình không ... vv.

(4) Thông tin về các bước sẽ được thực hiện hiện tại và trong tương lai cho từng lô sản phẩm.

54. Giải thích thuật ngữ EAP?

Trả lời:

(1) EAP: Equpiment Automation Program; chương trình tự động hóa máy;

(2) Sau khi máy có EAP, hệ thống sẽ giao tiếp với MES và máy theo LOT ID để phản hồi và kiểm tra, đồng thời hoàn tất việc mua máy, sản xuất và xuất Ngoài ra, hầu hết các máy đo cũng có thể tự động thu thập dữ liệu đo và cung cấp lại cho máy tính phía sau.

55. Lợi ích của EAP

Trả lời:

(1) Giảm thiểu sai sót của con người

(2) Nâng cao năng suất của hoạt động sản xuất

(3) Nâng cao năng suất sản phẩm

56. Tại sao EAP có thể giảm thiểu sai sót của con người

Trả lời:

(1) Tránh nhầm máy RUN hàng

(2) Tránh sai chương trình máy RUN

57. Tại sao EAP có thể cải thiện năng suất máy móc?

Trả lời:

(1) Trạm C có thể tải xuống chương trình mà không cần người vận hành

(2) Hệ thống y có thể được tự ánh xạ ゅ e`

(3) Hệ thống y có thể được tự gửi và chiếm ít người hơn.

58. Tại sao EAP có thể cải thiện năng suất sản phẩm?

Trả lời:

(1) Tại khu vực Phot / etch / CMP có thể tự động điều chỉnh các thông số chương trình

(2) Khi có báo động máy có thể tự động giữ hàng

(3) Khi số lượng lát trong lô không phải giống như số lát trong hệ thống MES, khi gặp nhau, nó có thể tự động giữ hàng

59. Giải thích thuật ngữ GUI?

Trả lời:

Graphical User Interface of MES có thể hiểu là giao diện người dùng đồ họa của MES. Các chức năng khác nhau trong MES được trình bày trong giao diện đồ họa để người dùng có thể dễ dàng thực thi

60. Giải thích danh từ EUI? Chức năng là gì?

Trả lời:

EUI: EAP User Interface - Giao diện người dùng EAP. Giao diện người dùng của chương trình tự động hóa máy móc. Thông qua EUI, bạn có thể thấy B hiện tại của trạm C và trạng thái hiện tại của trạm C.

Từ khóa: