Các yếu tố ảnh hưởng đến Phòng sạch Điện tử

Sự phát triển của máy tính, vi điện tử và công nghệ thông tin với tốc độ chóng mặt đã thúc đẩy sự phát triển nhanh chóng của ngành sản xuất điện tử, kéo theo đó là sự phát triển của công nghệ phòng sạch. Đồng thời, các yêu cầu cao hơn đã được đặt ra đối với việc thiết kế các mô-đun phòng sạch.

Chỉ khi hiểu đầy đủ các đặc điểm thiết kế của một phân xưởng không bụi trong ngành sản xuất điện tử cũng như thiết kế một cách tốt nhất thì tỷ lệ sai hỏng sản phẩm của ngành sản xuất điện tử mới có thể được giảm thiểu và nâng cao hiệu quả sản xuất.

Đặc điểm của phòng sạch điện tử

Mức độ sạch của phòng sạch điện tử được yêu cầu rất cao. Lưu lượng không khí, nhiệt độ, độ ẩm, chênh lệch áp suất và khí thải của thiết bị được kiểm soát một cách nghiêm ngặt theo yêu cầu. Độ rọi và tốc độ gió của khu vực phòng sạch được kiểm soát theo thiết kế hoặc thông số kỹ thuật. Ngoài ra, phòng sạch điện tử có những yêu cầu cực kỳ khắt khe về chống tĩnh điện. Trong số đó, các yêu cầu về độ ẩm rất nghiêm ngặt, bởi vì dễ dàng tĩnh điện tạo ra trong một nhà máy quá khô, có thể gây hư hỏng cho việc tích hợp CMOS.

Nói chung, nhiệt độ của một xưởng điện tử nên được kiểm soát ở khoảng 22 ℃ và độ ẩm tương đối nên được kiểm soát trong khoảng 50-60% (một số trường hợp đặc biệt sẽ có các quy định về nhiệt độ và độ ẩm cụ thể liên quan). Tại thời điểm này, tĩnh điện có thể được loại bỏ một cách hiệu quả và người vận hành sẽ cảm thấy thoải mái.

Phòng sạch sản xuất chip, phòng sạch vi mạch tích hợp và phân xưởng sản xuất đĩa là những thành phần quan trọng của phòng sạch trong ngành sản xuất điện tử.

Do các sản phẩm điện tử có yêu cầu cực kỳ khắt khe về chất lượng và môi trường không khí trong phòng trong quá trình sản xuất và chế tạo nên chúng chủ yếu kiểm soát các hạt và bụi trôi nổi là đối tượng chính. Đồng thời, các quy định nghiêm ngặt được thực hiện về nhiệt độ và độ ẩm của môi trường, lượng khí tươi và độ ồn.

Các yếu tố ảnh hưởng đến độ sạch của phòng sạch điện tử

Là một hệ thống làm sạch khổng lồ, phòng sạch có diện tích lớn nhưng cũng cần được chia thành các vách ngăn chức năng phức tạp và các phòng hỗ trợ đệm tương ứng, chúng cùng nhau tạo thành một hệ thống cấp và hồi không khí rất phức tạp.

Do đó, có rất nhiều yếu tố gây ra tình trạng chất lượng không khí của phòng sạch không đạt chất lượng. chủ yếu bao gồm:

(1) Thiết kế và bố trí hệ thống điều hòa không khí

Thiết kế của phòng sạch và cách bố trí điều hòa không khí có liên quan trực tiếp đến cấp độ sạch của phòng sạch.

(2) Cấp công trình

Chất lượng xây dựng tổng thể của nhà máy, chất lượng lắp đặt hệ thống điều hòa không khí, hệ thống cấp không khí, hệ thống thoát nước thải và các thiết bị đảm bảo khác có liên quan mật thiết đến độ sạch của phòng sạch.

(3) Thiết kế luồng không khí

• Nếu thiết kế luồng không khí không hợp lý, không khí cung cấp sẽ không thể bao phủ hoàn toàn khu vực làm việc.
• Vị trí không hợp lý của các cửa gió cấp và gió hồi sẽ tạo ra dòng xoáy cao hơn và lớn hơn, đồng thời góc lệch dòng khí của phòng sạch dòng một chiều quá lớn.
• Nếu vị trí của cửa hồi được bố trí không hợp lý sẽ khiến tốc độ gió hồi quá cao và gió hồi không đều.

Xem thêm: Thiết kế không khí trong phòng sạch

(4) Bộ lọc hiệu suất cao – Hepa / Ulpa

Các vấn đề về chất lượng bộ lọc hoặc các vấn đề về lắp đặt khiến không khí đi vào phòng sạch không được lọc hiệu quả và một số hạt bụi lơ lửng trong không khí không được lọc, dẫn đến phòng sạch không đạt tiêu chuẩn.

(5) Số lần trao đổi không khí

Thay đổi không khí không đủ sẽ khiến không khí ô nhiễm trong phòng sạch không nhanh chóng được thải ra khỏi phòng sạch. Số lần trao đổi không khí quá thấp sẽ không thể kìm hãm sự ô nhiễm của nguồn bụi. Mà bụi là yếu tố quan trọng đối với phòng sạch.

(6) Chênh lệch áp suất tĩnh

Sự chênh lệch áp suất tĩnh không đủ so với tiêu chuẩn làm cho phòng sạch không thể chặn các chất ô nhiễm bên ngoài xâm nhập vào phòng sạch.

(7) Air Shower

Buồng tắm khí được sử dụng như một kênh dẫn cần thiết để vào phòng sạch nhằm giảm các vấn đề ô nhiễm do ra vào phòng sạch. Vì vậy, chất lượng của nó liên quan mật thiết đến độ sạch của phòng sạch Điện tử.

(8) Vị trí thiết bị

Việc bố trí các thiết bị trong phòng không hợp lý sẽ ảnh hưởng đến luồng không khí từ trên xuống dưới, từ tâm ra xung quanh, gây nhiễu loạn không khí và ngăn cản các chất ô nhiễm thải ra khỏi phòng sạch một cách hiệu quả.

(9) Thiết bị mới được chuyển đến

Quá trình di chuyển trong thiết bị mới cần kết nối môi trường phòng sạch với không khí bên ngoài. Vì vậy, cần phải kiểm soát chặt chẽ thời gian di chuyển và quá trình vận chuyển, lắp đặt thiết bị. Đồng thời, bao bì bên ngoài của thiết bị phải được lau và làm sạch nghiêm ngặt trước khi chuyển đến.

Top 10 Thiết bị phòng sạch phổ biến

(10) Chất hóa học

Các chất hóa học có trong nguyên liệu và các dẫn xuất trong quá trình sản xuất sẽ tạo ra những chất bay hơi nhất định, ảnh hưởng đến độ sạch của phòng sạch.

(11) Mức độ làm sạch

Việc vệ sinh phòng sạch không đầy đủ và đúng cách sẽ dẫn đến việc tích tụ các chất ô nhiễm trong phòng, dẫn đến các điểm mù vệ sinh

(12) Nhân sự và vận hành vật chất

Trong quá trình hoạt động của phòng sạch, di chuyển của người vận hành và vật liệu có thể dễ dàng tạo ra sự nhiễu loạn không khí xung quanh các hoạt động nhạy cảm với ô nhiễm, là nguồn ô nhiễm chính cho khu vực sạch.

Số lượng người vận hành quá nhiều và việc mặc quần áo sạch không đúng cách đều sẽ gây ra hiện tượng phát thải nhiều bụi.