Tổng hợp 80+ Các câu hỏi về FAB bán dẫn – Phần 1

Chất bán dẫn là một phần không thể thiếu cho cuộc sống hiện đại ngày ngay. Vì thế mà các nhà máy sản xuất bán dẫn (thường được gọi là FAB) có ứng dụng rất lớn. Với một ngành sản xuất có rào cản cao, hẳn là chúng ta sẽ có rất nhiều những thắc mắc về các nhà máy sản xuất bán dẫn, đặc biệt đối với những nhà thi công, thiết kế và vận hành FAB. Các thắc mắc đó của bạn biết đâu sẽ có trong list 80+ các câu hỏi về FAB mà Thiết bị phòng sạch VCR gửi tới bạn ở đây. Hãy cùng đi vào phần 1 của chuỗi bài này nhé.

7 Sự thật đối với FAB bán dẫn

1. Các yếu tố chính ảnh hưởng đến chi phí nhà xưởng là gì?

Trả lời:

• Nguyên liệu trực tiếp;
• Nguyên liệu gián tiếp, chẳng hạn như khí đốt ...
• Nhân lực, Lao động
• Chi phí khấu hao máy sản xuất, bảo trì, nghiên cứu ... vv
• Chi phí do các đơn vị hỗ trợ sản xuất khác phát sinh

2. Trong FAB, vật liệu gián tiếp là gì?

Trả lời:

Axit, kiềm Hóa chất lỏng, Hóa chất Photoresist, Thạch anh, Vật liệu thạch anh, Đĩa đệm đánh bóng, Hộp đựng Wafer Boat (dùng để đặt chip), Chip cho thí nghiệm

3. Chi phí biến đổi (Variable Cost) là gì?

Trả lời:

Là chi phí tăng hoặc giảm khi sản xuất tăng hoặc giảm. Ví dụ: Chi phí nguyên vật liệu trực tiếp, nguyên vật liệu gián tiếp.

4. Chi phí cố định (Fixed Cost) là gì?

Trả lời:

Loại chi phí này không liên quan gì đến sản lượng, nhưng giữ một mức cố định cho từng thời kỳ. Ví dụ: tiền thuê thiết bị, khấu hao nhà xưởng và khấu hao thiết bị

5. Yield (Hiệu suất) có ảnh hưởng đến chi phí không và ảnh hưởng như thế nào?

Trả lời:

Nếu không có phế liệu và đầu vào hoàn toàn bằng đầu ra, chi phí sẽ là tối thiểu Sản lượng CP. Hiệu suất CP đề cập đến số lượng IC hiệu dụng thu được bằng cách thử nghiệm một con chip. Khi số lượng IC hiệu dụng trên chip đầu ra càng nhiều thì lợi ích thu được với cùng một thời gian sản xuất càng lớn.

6. Tác động của chu kỳ đến chi phí là gì?

Trả lời:

• Chu kỳ sản xuất càng ngắn thì chi phí sản xuất của nhà máy càng giảm. Những lợi ích tích cực mà nó mang lại như sau:
• Sản phẩm dở dang tích lũy trên dây chuyền sản xuất ít hơn
• Tích lũy nguyên liệu sản xuất ít hơn
• Tiết kiệm chi phí quản lý
• Thời gian sản xuất giảm từ đó giao được hàng sớm, chiếm được lòng tin của khách hàng và xây dựng danh tiếng công ty

7. Khí thải có thể được chia thành bao nhiêu hệ thống?

Trả lời:

Theo yêu cầu của quá trình sản xuất, nó được chia thành bốn hệ thống: khí thải chung (General), khí thải axit (Scrubbers), khí thải kiềm (Amoniac) và khí thải hữu cơ (Solvent).

8. Tại sao sàn nâng được chia thành lỗ và không lỗ?

Trả lời:

Việc này sẽ làm cho không khí lưu thông tuần hoàn, ngăn bụi, đảm bảo độ trong lành của phòng sạch; chống tĩnh điện.

9. Chức năng hệ thống phát xạ ion dùng để làm gì?

Trả lời:

Hệ thống phát xạ ion để ngăn chặn tĩnh điện

10. Phân chia khu vực cấp độ sạch của SMIC như thế nào

Trả lời:

Mask Shop: Class 1 – 100

Photo and process area: Class 100

Al-Line OS1 L3 OS1 L4 testing: Class 1000

11. Hệ thống quy trình chân không là gì? (PV)

Trả lời:

Đó là cung cấp chân không cần thiết trong quá trình sản xuất máy sản xuất và kiểm tra phòng sạch trong nhà máy. Chẳng hạn như bút hút chân không, lớp phủ chất lỏng photoresist, nguồn chân không để hút chip, v.v. Hệ thống cần cung cấp một áp suất chân không nhất định (độ chân không lớn hơn 80 kpa) và tốc độ dòng chảy, chạy 24 giờ một ngày.

12. MAU (Make Up Air Unit) là gì, vai trò của thiết bị điều hòa không khí tươi?

Trả lời:

Cung cấp không khí trong lành theo yêu cầu của phòng sạch, kiểm soát độ ẩm, nhiệt độ và độ sạch của không khí trong lành, duy trì áp suất dương và độ ẩm yêu cầu của phòng sạch.

13. Chức năng hệ thống hút chân không trong nhà là gì?

Trả lời:

Hệ thống HV (Máy hút bụi trong nhà) cung cấp nguồn chân không để làm sạch và hút các hạt bụi mịn trong khu vực theo quy trình phòng sạch và khu vực gió hồi. Sử dụng nó bằng cách dùng vòi nối vào lỗ hút chân không đã được lắp đặt trước dưới sàn nâng hoặc trên cột rồi bật nguồn hoạt động. Việc sử dụng hệ thống này có thể giảm thiểu ô nhiễm trong quá trình làm sạch.

14. Chức năng của Fan Filter Unit (FFU)

Trả lời:

Hệ thống FFU đảm bảo tốc độ gió và độ sạch một cách ổn định trong phòng sạch. FFU được cấu tạo bởi Quạt và Bộ lọc (ULPA hoặc HEPA).

15. Hệ thống phòng sạch là gì?

Trả lời:

Hệ thống phòng sạch cung cấp các yêu cầu về môi trường như độ sạch, nhiệt độ, độ ẩm, áp suất và các điều kiện về không khí theo yêu cầu.

Xem thêm: Thiết kế phòng sạch điện tử

16. Thông số phòng sạch tiêu chuẩn cho FAB

Trả lời:

• Nhiệt độ 23 ° C ± 1 ° C
• Độ ẩm 45% ± 5%
• Cấp độ sạch: Class 100
• Áp suất + 15pa
• Vận tốc không khí 0,4m / s ± 0,08m / s

17. Ai chịu trách nhiệm bảo trì và giám sát hàng ngày của vòi hoa sen an toàn trong Fab?

Trả lời:

Chủ khu vực ở Fab (Nếu không có nước hoặc lượng nước rò rỉ lớn, cần yêu cầu Bộ phận cấp nước của Nhà máy) để được hỗ trợ)

18. Khi các kỹ sư sử dụng nước tinh khiết để rửa hoặc bảo trì máy móc trong các chuyến hàng thông thường, họ nên cẩn thận không để axit hoặc dung môi hữu cơ (như IPA, v.v.) đi vào hệ thống thu hồi nước tinh khiết. Điều này là do?

Trả lời:

Axit sẽ làm tăng độ dẫn điện (độ dẫn điện), và dung môi hữu cơ sẽ làm tăng TOC. Cả hai đều sẽ ảnh hưởng và làm giảm tỷ lệ thu hồi của nước tinh khiết.

19. Nếu có giọt nước hoặc nước dư trên mặt đất được tìm thấy trong Fab, cách xử lý nó như thế nào?

Trả lời:

Đầu tiên hãy kiểm tra xem đó là do rò rỉ máy hay do PM. Nếu là hệ thống nhà máy, hãy thông báo cho phòng điều khiển trung tâm của nhà máy.

20. Nếu một máy cần xả một lượng lớn dung môi thải hoặc axit thải do PM hoặc các bất thường khác, chúng ta cần xử lý như thế nào?

Trả lời:

Thông báo cho bộ phận cấp nước của nhà máy.

21. Loại vật liệu ống nào được sử dụng cho nước thải axit-bazơ / axit sunfuric đặc / dung môi thải trong đường ống xả nước thải?

Trả lời:

Nước thải gốc axit / Axit sunfuric đậm đặc cần ống có polyethylene (HDPE) mật độ cao / Ống thép lót bằng dung môi thải Teflon (CS-PTFE) / Ống thép L (SUS)

22. Nếu đường ống thoát nước trong máy được kết nối không chính xác hoặc các thành phần khí thải được phân loại không chính xác, điều gì sẽ xảy ra với hệ thống chính phía sau?

Trả lời:

Nó sẽ dẫn đến việc các chỉ số liên quan của hệ thống chính của quá trình xử lý phía sau bị lỗi, và có thể dẫn đến tai nạn khi các cửa xả thải của công ty vượt quá tiêu chuẩn xả thải.

23. Ý nghĩa của việc tái chế nước là gì?

Trả lời:

Tiết kiệm nước và giảm chi phí với trọng tâm là bảo vệ môi trường.

Phù hợp với tinh thần của ISO và sự phát triển bền vững của công ty cũng như chính sách bảo vệ môi trường, an toàn và sức khỏe.

24. Loại khí nào được xếp vào loại Khí đặc biệt?

Đáp án:

SiH2Cl2: Dichlorosilane, là hợp chất độc, tính ăn mòn cao và dễ bắt lửa

25. VMB Stick cung cấp loại khí nào cho máy?

Trả lời: H2

26. Loại khí nào có hiện tượng cháy tự phát?

Trả lời: SiH4, Silan, còn được gọi với cái tên khác là Silic hydride là một hợp chất vô cơ có thành phần chính gồm hai nguyên tố silic và hydro. Nó là một loại khí không màu, dễ bắt lửa, có mùi hôi thối, tương tự như mùi axit axetic

27. Loại khí nào có tính ăn mòn?

Trả lời: ClF3, Clo trifluoride là một hợp chất liên halogen. Chất lỏng không màu, độc, ăn mòn, và ở trạng thái khí sẽ xảy ra phản ứng đông đặc mãnh liệt thành một chất lỏng màu vàng nhạt-xanh lá cây

28. Khi sử dụng loại khí nào trong máy thì phải lắp đầu báo gas?

Trả lời: PH3, Phosphin là một hợp chất hóa học giữa phosphor và hydro, công thức hóa học là. Đây là chất khí không màu, rất độc, có mùi tỏi, rất kém bền so với amonia cháy trong không khí ở 150⁰C. Khi có mặt diphosphan nó tự cháy trong không khí ở nhiệt độ thường tạo khối cầu lửa bay lơ lửng

29. Bảng chú giải thuật ngữ GC, VMB, VMP

Trả lời:

• GC-Tủ khí
• VMB-Van Manifold Box: thích hợp cho các khí độc hại.
• VMP-Valve Manifold Panel: phù hợp với khí trơ.

30. Nồng độ oxy trong khí quyển tiêu chuẩn là bao nhiêu? Nồng độ oxy tĩnh của vòng làm việc thấp hơn cơ thể con người sẽ cảm thấy không khỏe là bao nhiêu?

Trả lời:

• Nồng độ oxy trong khí quyển: 21%;
• Nồng độ oxy tĩnh của vòng làm việc thấp hơn cơ thể con người sẽ cảm thấy không khỏe là:19%