Một số Thiết bị đo trong phòng sạch Công nghệ phòng sạch hiện đang được ứng dụng rộng rãi trong lĩnh vực bán dẫn điện tử, thiết bị y tế, dược phẩm, vệ sinh thực phẩm, công nghệ sinh học, y tế và nhiều lĩnh vực khác. Với sự tiến bộ của công nghệ, các yêu cầu về phòng sạch ngày càng cao. Dưới góc độ phòng sạch, về việc ứng dụng công nghệ giám sát và điều khiển dụng cụ tự động trong phòng sạch cũng là một xu thế hiện nay. Công nghệ phòng sạch hiện đại chia thiết kế và xây dựng phòng sạch, kiểm tra và bảo trì phòng sạch và vận hành phòng sạch thành ba hạng mục chính, mỗi hạng mục bao gồm công nghệ giám sát và điều khiển thiết bị tự động riêng.

Một dự án phòng sạch cần có tính hệ thống cao, bao gồm cấu trúc bao quanh phòng sạch và hệ thống điều hòa không khí sạch. Toàn bộ hệ thống có tốt hay không và cuối cùng nó có thể đáp ứng các chỉ số hoặc thông số khác nhau theo yêu cầu của cấp độ lọc không khí và quy trình sản xuất hay không phụ thuộc vào mức độ phát hiện và tự động hóa của thiết bị đo. Đối với toàn bộ hệ thống điều hòa không khí sạch, dàn lạnh và ống khí điều hòa không khí sạch là một phần quan trọng của hệ thống này. Chức năng của nó là lọc, làm nóng hoặc làm mát không khí, làm ẩm hoặc hút ẩm, và đưa nó đến những nơi cần thiết. Tuy nhiên, không khí đưa vào phòng có đáp ứng các yêu cầu về độ sạch hay không và nhiệt độ và độ ẩm của không khí có đáp ứng yêu cầu sản xuất hay không thì điều đó cần được nhận biết bằng thiết bị phát hiện và kiểm soát.

Thiết bị đo Áp suất trong phòng sạch

Yêu cầu kiểm soát chênh lệch áp suất trong phòng sạch:

Duy trì một áp suất chênh lệch nhỏ nhất định giữa phòng sạch và không gian xung quanh tùy theo yêu cầu của quá trình sản xuất, có thể là áp suất dương hoặc áp suất âm. Áp suất chênh lệch nhỏ có thể được điều khiển bởi cổng cấp khí, cổng gió hồi hoặc van áp suất dư. Kiểm soát chênh lệch áp suất là một mắt xích rất quan trọng trong hệ thống điều hòa không khí sạch. Chỉ bằng cách kiểm soát sự chênh lệch áp suất trong khu vực sạch và đảm bảo phân phối không khí hợp lý mới có thể đáp ứng các yêu cầu về quá trình sản xuất.

Ví dụ, phòng sạch phải duy trì một áp suất dương nhất định để ngăn không khí bẩn bên ngoài đi vào khu vực sạch để đảm bảo mức độ sạch của phòng. Thông qua việc kiểm soát chênh áp khác nhau của mỗi khu vực sạch, nó có thể đạt được vai trò của phòng sạch. Trong GMP yêu cầu chênh lệch áp suất ở các khu vực có mức độ tinh sạch khác nhau phải được kiểm soát không nhỏ hơn + 5Pa. Trong phòng sạch an toàn sinh học, việc kiểm soát chênh lệch áp suất là phương tiện quan trọng để đảm bảo hàng rào bảo vệ an toàn. Do đó, việc kiểm soát chênh lệch áp suất là rất quan trọng đối với hệ thống điều hòa không khí của phòng sạch. Áp suất trong phòng sạch được giữ cao hơn áp suất bên ngoài và đó là phòng sạch áp suất dương; nếu không, nó được gọi là phòng sạch áp suất âm. Áp suất dương và áp suất âm là những thuật ngữ tương đối.

Phòng sạch là môi trường có áp suất dương đối với bầu khí quyển, nhưng nó có thể là phòng sạch áp suất âm đối với phòng khác. Chênh lệch áp suất giữa các phòng sạch ở các cấp khác nhau và giữa khu vực sạch và khu vực không sạch không nhỏ hơn 5Pa, và chênh lệch áp suất giữa khu vực sạch và bên ngoài không nhỏ hơn 10Pa. Duy trì chênh lệch áp suất dương ít nhất 30Pa giữa hành lang phòng sạch và khu vực không sạch. Nguyên tắc cơ bản của việc hình thành sự chênh lệch áp suất này là thể tích khí cấp lớn hơn lưu lượng khí hồi, thể tích khí thải và thể tích khí rò rỉ.

Thiết bị đo chênh áp phòng sạch

Thiết bị đo chênh lệch áp suất thường được sử dụng trong các phòng sạch là Đồng hồ chênh áp.

đồng hồ chênh áp

  • Được sử dụng để đo độ chênh lệch áp suất bên trong và bên ngoài phòng sạch
  • Đo chênh áp của bộ lọc để xác định thời điểm thay lọc
  • Đo áp suất ống dẫn khí
  • Đo chênh lệch áp suất ở cả hai đầu của quạt

Kiểm soát lượng không khí trong phòng sạch

Lưu lượng không khí cấp của phòng sạch sẽ xác định được từ độ sạch của phòng, nhưng lưu lượng không khí cấp chắc chắn sẽ bị ảnh hưởng bởi các yếu tố như bụi, chênh lệch áp suất và các yếu tố khác, điều này sẽ làm tăng mức tiêu thụ năng lượng của thiết bị. Nếu hệ thống sử dụng biến tần và thiết lập các thiết bị phát hiện và điều khiển để điều chỉnh lưu lượng khí thải theo đặc điểm của quá trình sản xuất và liên tục thay đổi lưu lượng cấp khí, có thể giúp tránh được sự việc phải bật quạt hút khi các quy trình riêng lẻ không được sản xuất, dẫn đến tiêu thụ nhiều năng lượng điện. Khi sử dụng biến tần, tốc độ quạt có thể thay đổi theo giá trị lưu lượng không khí yêu cầu của hệ thống, do đó giảm đáng kể điện năng tiêu thụ.

Dưới đây là thiết bị dùng để đo kiểm soát không khí:

Máy đo tốc độ gió, nhiệt độ

máy đo tốc độ gió, nhiệt độ

Theo dõi tốc độ gió và nhiệt độ của ống gió

Máy đo tốc độ gió

cảm biến gió

Ba dải đo: 0-4m / s, 0-8m / s , 0-16m / s, đầu ra 4-20mA hoặc 0-10VDC tùy chọn

Được sử dụng đo tốc độ gió cung cấp và kiểm soát khí thải

Máy đo lượng không khí và tốc độ gió

đo lưu lượng khí

Một số thiết bị đo khác

Máy đo nhiệt độ, độ ẩm

Dùng để đo và chỉ ra nhiệt độ và độ ẩm của gió trong ống gió

Máy đo độ ẩm

máy đo độ ẩm phòng sạch

Kiểm soát độ ẩm.