So sánh tiêu chuẩn phòng sạch ISO 14644-1 và FED STD 209 E

Tiêu chuẩn phòng sạch ISO 1644-1 là gì?

Tiêu chuẩn ISO 14644 là tiêu chuẩn quốc tế được sử dụng để thiết kế, xây dựng, xác nhận và vận hành phòng sạch. Tiêu chuẩn được xuất bản lần đầu tiên vào năm 1999, và đã thay thế Tiêu chuẩn Liên bang Hoa Kỳ trước đây 209E vào năm 2001. Sau một thời gian tham vấn và sửa đổi, Phần 1 và 2 đã cập nhật và sửa đổi vào tháng 12 năm 2015.

Tiêu chuẩn phòng sạch FED STD 209 E là gì?

FED-STD-209E là tiêu chuẩn phân loại độ sạch của hạt trong không khí trong phòng sạch và khu vực sạch là một tiêu chuẩn liên bang Mỹ liên quan đến phân loại độ sạch của không khí, được thiết kế để sử dụng trong các môi trường như phòng sạch. Tiêu chuẩn dựa trên phân loại các hạt trong không khí.

Tương đương giữa hai tiêu chuẩn phòng sạch ISO 1644-1 và FED STD 209 E

Phân loại kích thước hạt bui/ft3 theo tiêu chuẩn FED STD 209E

Phân loại kích thước hạt bui/ft3 theo tiêu chuẩn ISO 14641-1

Vì sao FED-STD-209E bị thay thế bởi ISO 14644?

FED-STD-209E từng là một trong những tiêu chuẩn phòng sạch có ảnh hưởng lớn nhất thế giới. Nhiều thuật ngữ quen thuộc như Class 10, Class 100, Class 1.000, Class 10.000 hay Class 100.000 đều bắt nguồn từ hệ thống này. Trong nhiều thập kỷ, cách phân loại của Hoa Kỳ được sử dụng rộng rãi không chỉ tại Mỹ mà còn trong ngành dược phẩm, điện tử, bán dẫn, thiết bị y tế và nhiều lĩnh vực công nghệ cao ở các quốc gia khác.

Tuy nhiên, FED-STD-209E về bản chất vẫn là một Federal Standard – tiêu chuẩn liên bang của Hoa Kỳ. Khi chuỗi cung ứng công nghiệp trở nên toàn cầu, việc các quốc gia và doanh nghiệp sử dụng những hệ phân loại khác nhau gây khó khăn cho thiết kế, kiểm định, sản xuất thiết bị và trao đổi thông số kỹ thuật. Một nhà máy tại châu Á có thể sử dụng thiết bị của Mỹ, công nghệ của châu Âu và sản xuất sản phẩm cho nhiều thị trường, vì vậy nhu cầu về một hệ thống phân loại phòng sạch thống nhất trên phạm vi quốc tế ngày càng rõ ràng.

Sự ra đời của ISO 14644 giúp giải quyết vấn đề này. ISO là viết tắt của International Organization for Standardization – Tổ chức Tiêu chuẩn hóa Quốc tế. Bộ ISO 14644 xây dựng một ngôn ngữ chung để các chủ đầu tư, nhà thầu, nhà sản xuất thiết bị và đơn vị kiểm định ở nhiều quốc gia có thể mô tả và đánh giá phòng sạch theo cùng một hệ thống.

Ngày 29/11/2001, FED-STD-209E chính thức bị hủy. Thông báo hủy của Chính phủ Hoa Kỳ nêu rõ tiêu chuẩn này được thay thế bởi ISO 14644-1 về phân loại độ sạch không khí và ISO 14644-2 về kiểm tra, giám sát nhằm chứng minh khả năng tiếp tục đáp ứng yêu cầu độ sạch.

Một thay đổi dễ nhận biết là hệ đơn vị. FED-STD-209E thường được biết đến với cách biểu thị số lượng hạt trên ft³ – cubic foot, nghĩa là foot khối. Trong khi đó, ISO 14644 sử dụng hệ đơn vị quốc tế, trong đó nồng độ hạt thường được biểu thị bằng số hạt trên m³ – mét khối. Một mét khối tương đương khoảng 35,3 foot khối, do đó các con số giữa hai hệ tiêu chuẩn không thể được so sánh trực tiếp nếu không xem xét đơn vị.

Ví dụ, Class 100 trong hệ FED-STD-209E thường được hiểu là tối đa khoảng 100 hạt có kích thước từ 0,5 µm trở lên trên một foot khối không khí. Trong hệ ISO 14644-1, cấp thường được đối chiếu với Class 100 là ISO Class 5, với giới hạn 3.520 hạt từ 0,5 µm trở lên trên mỗi mét khối. Hai con số 100 và 3.520 nhìn rất khác nhau, nhưng phần lớn sự khác biệt đến từ việc một hệ sử dụng foot khối và hệ còn lại sử dụng mét khối.

ISO 14644-1 còn tạo ra hệ phân loại từ ISO Class 1 đến ISO Class 9. Nguyên tắc rất dễ hiểu: số ISO Class càng nhỏ thì giới hạn nồng độ hạt càng thấp và môi trường càng sạch. Cách phân loại này thuận lợi hơn khi cần mô tả một dải rộng các môi trường kiểm soát, từ những khu vực có yêu cầu cực cao trong bán dẫn đến những phòng sạch có cấp độ thấp hơn.

Một điểm quan trọng khác là ISO 14644 không chỉ gồm Part 1. Phân loại hạt chỉ là một phần trong vòng đời phòng sạch. Những phần khác của bộ tiêu chuẩn đề cập đến monitoring – giám sát, phương pháp thử, thiết kế, xây dựng, start-up – đưa hệ thống vào vận hành, và hoạt động vận hành phòng sạch.

Điều này giúp chuyển tư duy từ câu hỏi đơn giản “phòng này là Class bao nhiêu?” sang một cách tiếp cận đầy đủ hơn:

Thiết kế → Xây dựng → Phân loại → Kiểm tra → Monitoring → Vận hành → Đánh giá lại.

Mặc dù FED-STD-209E đã bị hủy hơn hai thập kỷ, các thuật ngữ Class 100, Class 1.000, Class 10.000 và Class 100.000 vẫn chưa biến mất. Chúng tiếp tục xuất hiện trong bản vẽ cũ, specification – tài liệu thông số kỹ thuật, tài liệu thiết bị, hồ sơ nhà máy và giao tiếp thương mại.

Vì vậy, việc hiểu FED-STD-209E vẫn có giá trị. Tuy nhiên, mục đích chính hiện nay là giúp đọc và đối chiếu tài liệu cũ chứ không nên xem đây là tiêu chuẩn chính cho các dự án phòng sạch mới.

Đối với hồ sơ thiết kế mới, cách ghi rõ ràng hơn là sử dụng ISO Class theo ISO 14644-1, đồng thời xác định kích thước hạt cần kiểm soát và trạng thái phòng tại thời điểm phân loại.

Ví dụ, thay vì chỉ ghi:

“Cleanroom Class 10.000”

nên xác định rõ hơn:

“ISO Class 7 theo ISO 14644-1, tại trạng thái được quy định trong yêu cầu dự án.”

Như vậy, việc chuyển từ FED-STD-209E sang ISO 14644 không đơn giản chỉ là thay tên Class 10.000 bằng ISO 7. Đây là sự chuyển đổi từ một tiêu chuẩn quốc gia sang một hệ thống tiêu chuẩn quốc tế thống nhất hơn, thuận lợi hơn cho thiết kế, đo kiểm và quản lý phòng sạch trong chuỗi cung ứng toàn cầu.

So sánh tiêu chuẩn phòng sạch ISO 14644-1 và FED-STD-209E

ISO 14644-1 và FED-STD-209E có cùng một mục tiêu cơ bản là phân loại độ sạch không khí dựa trên nồng độ hạt, nhưng hai tiêu chuẩn khác nhau về nguồn gốc, hệ phân loại, đơn vị và tình trạng áp dụng.

FED-STD-209E là tiêu chuẩn liên bang Hoa Kỳ. ISO 14644-1 là tiêu chuẩn quốc tế được phát triển bởi ISO và hiện được sử dụng rộng rãi hơn trong các dự án phòng sạch trên toàn cầu.

Có thể so sánh hai hệ thống qua bảng sau:

Điểm giống nhau quan trọng nhất là cả hai đều sử dụng nồng độ hạt trong không khí để mô tả mức độ sạch. Vì vậy, việc xây dựng bảng đối chiếu giữa Class cũ và ISO Class mới là có thể thực hiện và rất hữu ích trong thực tế.

Bảng đối chiếu thường gặp như sau:

Bảng này giúp kỹ sư nhanh chóng hiểu một yêu cầu cũ. Ví dụ, khi bản vẽ của một nhà máy ghi Class 10.000, người đọc có thể nhận biết rằng yêu cầu này thường được đối chiếu với ISO Class 7.

Tuy nhiên, không nên hiểu bảng trên theo nghĩa Class 10.000 và ISO 7 là hai tên gọi hoàn toàn giống nhau trong cùng một tiêu chuẩn.

Chúng thuộc hai hệ phân loại khác nhau.

FED-STD-209E sử dụng cách gọi Class dựa trên hệ đơn vị truyền thống của Hoa Kỳ, trong khi ISO 14644-1 sử dụng ISO Class và hệ đơn vị quốc tế. Vì vậy, khi chuyển đổi một hồ sơ cũ sang ISO, nhà thầu cần kiểm tra thêm kích thước hạt, trạng thái phòng, phương pháp kiểm tra và những yêu cầu kỹ thuật đi kèm.

Một khác biệt rất dễ gây nhầm lẫn là ft³ và m³.

ft³ là cubic foot – foot khối.

m³ là mét khối.

Do 1 m³ xấp xỉ 35,3 ft³ nên một giới hạn được biểu thị bằng hạt/m³ về mặt con số sẽ lớn hơn nhiều so với cùng nồng độ được biểu thị bằng hạt/ft³.

Đây là lý do Class 100 trong FED-STD-209E có con số “100”, trong khi ISO Class 5 thường được nhắc đến với giới hạn 3.520 hạt/m³ tại kích thước từ 0,5 µm trở lên.

Sự khác nhau về con số không có nghĩa ISO 5 “bẩn hơn 35 lần”. Đó chủ yếu là kết quả của việc sử dụng hai đơn vị thể tích khác nhau.

Một điểm khác biệt quan trọng nữa là cách sử dụng tên cấp sạch.

FED-STD-209E khiến người dùng dễ hình dung cấp phòng qua những tên như Class 100 hay Class 10.000. ISO 14644-1 sử dụng cách đặt tên ISO Class 1, ISO Class 2 cho đến ISO Class 9. Trong hệ ISO, số Class càng nhỏ thì môi trường càng sạch.

Ví dụ:

ISO 5 sạch hơn ISO 7.

ISO 7 sạch hơn ISO 8.

Điều cần lưu ý là ISO Class chỉ mô tả một phần của môi trường phòng sạch: nồng độ hạt trong không khí.

ISO 14644-1 không có nghĩa rằng một phòng ISO 7 bắt buộc phải có một số ACH cố định, một loại HEPA cố định hay một mức chênh áp cố định.

ACH là viết tắt của Air Changes per Hour – số lần trao đổi không khí mỗi giờ.

HEPA là High Efficiency Particulate Air Filter – bộ lọc không khí hiệu suất cao.

Differential Pressure là chênh lệch áp suất giữa hai không gian.

Đây đều là các thông số hoặc giải pháp kỹ thuật có thể được sử dụng để giúp phòng đạt và duy trì ISO Class yêu cầu, nhưng chúng phải được xác định theo quy trình, nguồn phát hạt, số người, thiết bị và yêu cầu của từng dự án.

Do đó, hai phòng cùng đạt ISO 7 chưa chắc phải sử dụng cùng số lượng HEPA, cùng ACH hoặc cùng chênh áp.

Điểm cuối cùng và quan trọng nhất là tình trạng pháp lý của hai tiêu chuẩn.

FED-STD-209E đã bị hủy từ năm 2001. ISO 14644-1 hiện là hệ tiêu chuẩn quốc tế phù hợp hơn để sử dụng khi phân loại phòng sạch trong các dự án mới.

Tuy nhiên, FED-STD-209E vẫn hữu ích khi cần đọc các hồ sơ cũ.

Vì vậy, có thể hiểu vai trò hiện nay của hai hệ thống như sau:

FED-STD-209E → ngôn ngữ lịch sử và công cụ đối chiếu.

ISO 14644-1 → hệ phân loại nên ưu tiên cho tài liệu và dự án hiện đại.

Đối với nhà thầu, khi gặp một bản vẽ chỉ ghi Class 100, Class 1.000 hoặc Class 10.000, không nên chỉ chuyển đổi tên gọi rồi đặt thiết bị ngay. Cần xác nhận với chủ đầu tư ít nhất các yếu tố: ISO Class tương ứng, trạng thái phòng cần nghiệm thu, kích thước hạt được kiểm soát, yêu cầu HVAC, chênh áp, nhiệt độ – độ ẩm và tiêu chuẩn chuyên ngành nếu có.

Cách tiếp cận này giúp tránh một sai lầm phổ biến: coi tên cấp sạch là toàn bộ yêu cầu thiết kế.

Trên thực tế, Class hoặc ISO Class chỉ trả lời câu hỏi “mức nồng độ hạt cần đạt là gì?”. Còn việc làm thế nào để đạt được mức đó là bài toán tổng hợp của HVAC, airflow – dòng không khí, HEPA, kết cấu bao che, con người, quy trình và hệ thống giám sát.

FAQ – Câu hỏi thường gặp về ISO 14644-1 và FED-STD-209E

ISO 14644-1 là gì?

ISO 14644-1 là tiêu chuẩn quốc tế dùng để phân loại độ sạch của không khí trong phòng sạch và vùng sạch dựa trên nồng độ hạt trong không khí. Phiên bản hiện hành là ISO 14644-1:2015. Tiêu chuẩn sử dụng số lượng hạt trên mỗi mét khối không khí và phân chia độ sạch thành các cấp ISO Class. ISO 14644-1 tập trung vào nồng độ hạt dùng cho phân loại và không xác định bản chất hóa học, sinh học hoặc khả năng sống của các hạt.

FED-STD-209E là gì?

FED-STD-209E là tiêu chuẩn liên bang Hoa Kỳ trước đây dùng để phân loại độ sạch của phòng sạch dựa trên nồng độ hạt trong không khí. Các tên gọi quen thuộc như Class 10, Class 100, Class 1.000, Class 10.000 và Class 100.000 xuất phát từ hệ thống này. Một đặc điểm của FED-STD-209E là sử dụng số lượng hạt trên ft³ – cubic foot, tức foot khối, trong khi ISO 14644-1 hiện nay chủ yếu sử dụng số hạt trên mét khối.

FED-STD-209E hiện còn hiệu lực không?

Không. FED-STD-209E đã chính thức bị hủy ngày 29/11/2001 và được thay thế bởi ISO 14644-1 và ISO 14644-2. Tuy nhiên, các thuật ngữ Class 100, Class 1.000, Class 10.000 hay Class 100.000 vẫn được sử dụng khá phổ biến trong thực tế do thói quen của kỹ sư, nhà máy và các tài liệu kỹ thuật cũ. Đối với các dự án mới, nên ưu tiên sử dụng hệ phân loại ISO Class.

Điểm khác nhau lớn nhất giữa ISO 14644-1 và FED-STD-209E là gì?

Khác biệt dễ nhận thấy nhất nằm ở hệ thống phân loại và đơn vị biểu thị nồng độ hạt. FED-STD-209E sử dụng các cấp Class 1, Class 10, Class 100, Class 1.000, Class 10.000 và Class 100.000, thường biểu thị số hạt trên foot khối. ISO 14644-1 sử dụng hệ ISO Class và biểu thị nồng độ hạt trên mét khối. Ngoài ra, ISO 14644-1 là tiêu chuẩn quốc tế hiện hành, còn FED-STD-209E hiện chủ yếu có giá trị tham khảo lịch sử.

Class 100, Class 1.000 và Class 10.000 tương ứng với ISO Class nào?

Trong cách đối chiếu thông dụng giữa hai hệ thống, Class 10 thường được liên hệ với ISO 4, Class 100 với ISO 5, Class 1.000 với ISO 6, Class 10.000 với ISO 7 và Class 100.000 với ISO 8. Class 1 thường được liên hệ với ISO 3. Tuy nhiên, đây là bảng đối chiếu giữa hai hệ phân loại khác nhau, không có nghĩa hai tiêu chuẩn hoàn toàn giống nhau về phương pháp, đơn vị và phạm vi áp dụng.

Class 100 có hoàn toàn giống ISO 5 không?

Không nên coi Class 100 và ISO 5 là hai khái niệm hoàn toàn giống nhau. Class 100 là thuật ngữ thuộc FED-STD-209E, còn ISO Class 5 thuộc ISO 14644-1. Hai cấp này thường được đối chiếu với nhau vì có giới hạn nồng độ hạt tương ứng gần nhau tại những kích thước hạt phổ biến. Trong hồ sơ kỹ thuật mới, nên ghi rõ ISO Class, kích thước hạt kiểm soát và trạng thái phòng thay vì chỉ sử dụng tên Class theo tiêu chuẩn cũ.

Class 10.000 có phải là ISO 7 không?

Class 10.000 thường được đối chiếu với ISO Class 7. Theo FED-STD-209E, Class 10.000 dựa trên giới hạn số hạt trong một foot khối không khí, còn ISO 7 sử dụng số hạt trên mỗi mét khối. Vì vậy, trong trao đổi kỹ thuật vẫn thường gặp cách gọi Class 10.000 – ISO 7, nhưng đối với hồ sơ thiết kế và kiểm định mới nên ưu tiên sử dụng ISO Class 7 theo ISO 14644-1.

Tại sao FED-STD-209E dùng ft³ còn ISO 14644-1 dùng m³?

FED-STD-209E là tiêu chuẩn liên bang Hoa Kỳ nên hệ phân loại truyền thống sử dụng cubic foot, tức foot khối, ký hiệu ft³. ISO 14644 là tiêu chuẩn quốc tế nên sử dụng hệ đơn vị SI, trong đó nồng độ hạt thường được biểu thị bằng số hạt trên mét khối, ký hiệu m³. Một mét khối tương đương khoảng 35,3 foot khối, vì vậy cần chú ý sự khác biệt về đơn vị khi so sánh bảng phân loại cũ và mới.

ISO Class càng nhỏ có nghĩa phòng càng sạch không?

Có. Trong ISO 14644-1, số ISO Class càng nhỏ thì giới hạn nồng độ hạt càng thấp và yêu cầu về độ sạch càng cao. Ví dụ, ISO 5 có yêu cầu kiểm soát hạt nghiêm ngặt hơn ISO 7, còn ISO 7 sạch hơn ISO 8. Tuy nhiên, ISO Class chỉ mô tả độ sạch không khí theo nồng độ hạt và không tự động xác định toàn bộ yêu cầu về HVAC, vi sinh, nhiệt độ, độ ẩm hoặc quy trình sản xuất.

ISO 14644-1 phân loại những kích thước hạt nào?

ISO 14644-1:2015 sử dụng các kích thước hạt trong khoảng từ 0,1 µm đến 5 µm cho mục đích phân loại. µm là viết tắt của micrometre, tiếng Việt là micromét, bằng một phần triệu mét. Tùy ISO Class và mục tiêu phân loại, các kích thước hạt phù hợp sẽ được lựa chọn để đánh giá. Việc đo thường được thực hiện bằng máy đếm hạt trong không khí sử dụng nguyên lý tán xạ ánh sáng.

ISO 14644-1 có quy định số lần trao đổi không khí ACH không?

Không. ISO 14644-1 không quy định một giá trị ACH cố định cho từng ISO Class. ACH là viết tắt của Air Changes per Hour, nghĩa là số lần trao đổi không khí mỗi giờ. Đây là thông số thiết kế HVAC giúp kiểm soát hạt và môi trường phòng sạch. Giá trị ACH phù hợp phụ thuộc vào nguồn phát hạt, số người, thiết bị, kích thước phòng, mô hình airflow, tải nhiệt và yêu cầu quy trình.

ISO 14644-1 có bắt buộc sử dụng HEPA H13 hoặc H14 không?

Không. ISO 14644-1 phân loại phòng dựa trên nồng độ hạt thực tế và không quy định mọi ISO Class phải sử dụng một cấp HEPA cụ thể. HEPA là viết tắt của High Efficiency Particulate Air Filter, nghĩa là bộ lọc không khí hiệu suất cao. Trong thực tế, H13, H14 hoặc các cấp lọc khác được lựa chọn dựa trên yêu cầu thiết kế, nồng độ hạt đầu vào, airflow, trở lực bộ lọc, ứng dụng và tiêu chuẩn chuyên ngành.

ISO 14644-1 có quy định chênh áp phòng sạch bao nhiêu Pa không?

Không. ISO 14644-1 không quy định một mức chênh áp cố định cho từng ISO Class. Differential Pressure, nghĩa là chênh lệch áp suất, được thiết kế để tạo hướng di chuyển không khí phù hợp giữa các khu vực. Phòng sạch hơn thường có thể được duy trì áp suất dương so với khu vực ít sạch hơn khi mục tiêu là bảo vệ sản phẩm. Với một số khu vực cần bao chứa chất nguy hiểm, chiến lược áp suất âm có thể được sử dụng.

Làm thế nào để xác định một phòng đạt ISO Class nào?

Phòng được phân loại bằng cách đo nồng độ hạt trong không khí tại các vị trí lấy mẫu xác định bằng máy đếm hạt phù hợp. Kết quả đo được so sánh với giới hạn của ISO Class tương ứng trong ISO 14644-1. Không thể kết luận một phòng đạt ISO 5, ISO 7 hay ISO 8 chỉ bằng việc nhìn số lượng HEPA, ACH hoặc cấu hình HVAC. Những thông số này hỗ trợ tạo độ sạch, còn kết quả đo hạt là cơ sở trực tiếp để phân loại.

ISO 14644-1 và ISO 14644-2 khác nhau như thế nào?

ISO 14644-1 tập trung vào việc phân loại độ sạch của không khí dựa trên nồng độ hạt. ISO 14644-2 tập trung vào Monitoring, nghĩa là giám sát, nhằm cung cấp bằng chứng rằng phòng sạch tiếp tục duy trì hiệu suất liên quan đến nồng độ hạt theo thời gian. Có thể hiểu đơn giản, ISO 14644-1 trả lời câu hỏi phòng đang thuộc ISO Class nào, còn ISO 14644-2 hỗ trợ xác định cách theo dõi để biết phòng tiếp tục duy trì điều kiện đó hay không.

ISO 14644-1 có phải là tiêu chuẩn để thiết kế toàn bộ phòng sạch không?

Không hoàn toàn. ISO 14644-1 chủ yếu quy định việc phân loại độ sạch không khí theo nồng độ hạt. Thiết kế một phòng sạch hoàn chỉnh còn liên quan đến nhiều phần khác của bộ ISO 14644 và các tiêu chuẩn chuyên ngành. Ví dụ, ISO 14644-4 liên quan đến thiết kế, xây dựng và đưa phòng sạch vào vận hành; ISO 14644-3 liên quan đến các phương pháp thử; ISO 14644-2 liên quan đến monitoring và duy trì hiệu suất.

FED-STD-209E có còn hữu ích khi đã bị hủy bỏ không?

Có, nhưng chủ yếu với vai trò tham khảo và đối chiếu các tài liệu cũ. Nhiều nhà máy, thiết bị hoặc bản vẽ trước đây vẫn sử dụng các thuật ngữ Class 100, Class 1.000 hoặc Class 10.000. Hiểu FED-STD-209E giúp kỹ sư đọc và chuyển đổi những yêu cầu này sang hệ ISO hiện nay. Tuy nhiên, không nên sử dụng FED-STD-209E làm tiêu chuẩn chính cho một dự án mới khi ISO 14644-1 đã trở thành hệ phân loại quốc tế được sử dụng rộng rãi.

Nếu hồ sơ yêu cầu Class 10.000 thì nhà thầu nên xử lý thế nào?

Nhà thầu không nên tự động hiểu Class 10.000 là ISO 7 rồi triển khai ngay. Trước tiên cần xác nhận với chủ đầu tư tiêu chuẩn áp dụng, ISO Class yêu cầu, kích thước hạt cần kiểm soát, trạng thái phòng và điều kiện nghiệm thu. Trạng thái phòng có thể là At-rest, nghĩa là trạng thái nghỉ, hoặc Operational, nghĩa là trạng thái hoạt động. Việc làm rõ từ đầu giúp tránh tình trạng hệ HVAC và HEPA đã hoàn thành nhưng tiêu chí kiểm định lại khác với giả định thiết kế.

Khi thiết kế phòng sạch mới nên sử dụng ISO 14644-1 hay FED-STD-209E?

Đối với các dự án mới, nên ưu tiên ISO 14644-1 vì đây là tiêu chuẩn quốc tế hiện hành về phân loại độ sạch không khí theo nồng độ hạt. FED-STD-209E đã bị hủy và hiện chủ yếu được sử dụng để tham khảo lịch sử hoặc chuyển đổi yêu cầu từ các tài liệu cũ. Khi lập URS – User Requirement Specification, nghĩa là tài liệu yêu cầu người sử dụng, bản vẽ kỹ thuật và tiêu chí nghiệm thu, nên ghi rõ ISO Class và phiên bản tiêu chuẩn áp dụng.