Yêu cầu đối với Phòng sạch trong ngành Quang học vi điện tử

Phòng sạch trong ngành quang học vi điện tử là yếu tố then chốt để đảm bảo môi trường sản xuất và nghiên cứu đạt chuẩn. Vậy các yêu cầu cụ thể về độ sạch, nhiệt độ, độ ẩm và kiểm soát bụi trong phòng sạch là gì? Cùng thiết bị phòng sạch VCR tìm hiểu chi tiết các yêu cầu đối với phòng sạch trong ngành quang học vi điện tử nhé!

1. Định nghĩa kỹ thuật phòng sạch vi điện tử quang học

Kỹ thuật phòng sạch vi điện tử quang học được định nghĩa là loại bỏ các hạt bụi, không khí có hại, vi khuẩn và các chất ô nhiễm khác trong không khí. Đồng thời, nhiệt độ, độ ẩm, độ sạch, áp suất, tốc độ luồng không khí, phân bố không khí, tiếng ồn, độ rung, ánh sáng và tĩnh điện đều được kiểm soát trong phạm vi yêu cầu. Môi trường này được thiết kế đặc biệt trong một không gian kín.

2. Tầm quan trọng của phòng sạch vi điện tử quang học

Phòng sạch (hoặc còn gọi là phòng sạch không bụi) là cơ sở không thể thiếu trong nhiều ngành công nghiệp như bán dẫn, sản xuất chính xác, sản xuất màn hình tinh thể lỏng, sản xuất quang học, chế tạo bảng mạch, hóa sinh, y học và sản xuất thực phẩm. Với sự phát triển công nghệ, yêu cầu về độ chính xác cao và thu nhỏ sản phẩm ngày càng trở nên quan trọng, như việc chế tạo mạch tích hợp siêu lớn đang là mối quan tâm lớn của các quốc gia. Các giải pháp thiết kế và công nghệ xây dựng của các công ty chuyên môn hiện đang ở vị trí tiên phong trong ngành.

3. Cấu trúc dự án phòng sạch vi điện tử quang học

Các dự án này thường bao gồm:
Khu vực sản xuất sạch sẽ: Vùng chính dành cho sản xuất.
Phòng phụ trợ sạch sẽ: Bao gồm các phòng phòng sạch cho nhân sự, vật liệu và một số phòng chức năng.
Khu vực quản lý: Văn phòng, phòng trực, quản lý và khu vực nghỉ ngơi.
Khu vực thiết bị: Phòng điều hòa không khí phòng sạch, phòng điện, phòng nước và khí độ tinh khiết cao, phòng thiết bị sưởi ấm/làm mát.

4. Nguyên lý phòng sạch vi điện tử quang học: Luồng không khí được lọc qua các giai đoạn

Lọc sơ cấp → điều hòa không khí → lọc trung cấp → quạt → hệ thống ống dẫn → lọc hiệu suất cao → vào phòng, loại bỏ bụi và vi khuẩn → gió hồi qua tấm chắn → lặp lại quy trình.

5. Các thông số kỹ thuật phòng sạch vi điện tử quang học

Số lần thay đổi không khí:
Cấp 100.000: ≥ 15 lần/giờ.
Cấp 10.000: ≥ 20 lần/giờ.
Cấp 1.000: ≥ 30 lần/giờ.
Chênh lệch áp suất: ≥ 5 Pa giữa phòng chính và phòng liền kề.
Nhiệt độ: Mùa đông >16°C, mùa hè <26°C, dao động ±2°C.
Độ ẩm: 45-65%.
Độ ồn: ≤ 65 dB(A).
Độ chiếu sáng: 300 LX.

6. Vật liệu cấu trúc phòng sạch vi điện tử quang học:

Tường và trần thường sử dụng tấm Panel sandwich dày 50mm.
Sàn làm từ epoxy tự san phẳng hoặc sàn nhựa chịu mài mòn, có thể chống tĩnh điện.
ống gió làm bằng tấm kẽm và nhựa xốp chống cháy.
Cửa thoát khí hiệu suất cao làm từ thép không gỉ, chống bụi và dễ làm sạch.

7. Các giải pháp thiết kế phòng sạch vi điện tử quang học

Bộ xử lý không khí kết hợp: Phù hợp cho các xưởng có yêu cầu độ sạch cao.
Tủ làm mát bằng nước: Đơn giản và tiết kiệm diện tích.
Tủ điều hòa chia đôi + FFU: Thích hợp cho các xưởng không bụi với yêu cầu không quá cao về nhiệt độ và độ ẩm.

8. Yêu cầu thiết kế phòng sạch vi điện tử quang học

Việc lựa chọn giải pháp điều hòa không khí tùy thuộc vào yêu cầu kỹ thuật của từng nhà máy cũng như khả năng kinh tế. Với các nhà máy yêu cầu cao, giải pháp xử lý tập trung là tối ưu. Đối với những nơi có yêu cầu thấp, giải pháp tủ + FFU là lựa chọn phù hợp và tiết kiệm.
Kết luận:
Phòng sạch trong ngành quang học vi điện tử đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo chất lượng sản xuất. Các giải pháp thiết kế cần linh hoạt, đáp ứng yêu cầu kỹ thuật và tối ưu chi phí.

Hieu vcr