1. Phạm vi của tiêu chuẩn ISO 14644-14

Tiêu chuẩn ISO 14644-14 quy định phương pháp luận để đánh giá tính phù hợp của thiết bị (ví dụ: máy móc, thiết bị đo lường, thiết bị xử lý, linh kiện và dụng cụ) để sử dụng trong phòng sạch và các môi trường được kiểm soát liên quan, liên quan đến độ sạch của các hạt trong không khí theo như quy định trong ISO 14644-1. Kích thước hạt nằm trong khoảng từ 0,1 µm đến bằng hoặc lớn hơn 5 µm (theo ISO 14644-1 ).

CHÚ THÍCH : Khi các cơ quan quản lý áp đặt các hướng dẫn bổ sung hoặc các hạn chế, có thể cần phải có sự điều chỉnh thích hợp của phương pháp đánh giá.

Ngoài ra, các mục sau đây không được đề cập trong tiêu chuẩn này :

  • Đánh giá sự phù hợp đối với ô nhiễm sinh học;
  • Thử nghiệm tính phù hợp của các tác nhân và kỹ thuật khử nhiễm;
  • Khả năng làm sạch của thiết bị và vật liệu;
  • Các yêu cầu về thiết kế thiết bị và lựa chọn vật liệu;
  • Các đặc tính vật lý của vật liệu (ví dụ tính chất tĩnh điện, nhiệt);
  • Tối ưu hóa hiệu suất của thiết bị cho các ứng dụng quy trình cụ thể;
  • Lựa chọn và sử dụng các phương pháp thống kê để thử nghiệm;
  • Các giao thức và yêu cầu đối với các quy định an toàn của địa phương.

Iso 14644-14

2. Tài liệu tham khảo

Toàn bộ hoặc một phần của các tài liệu sau đây được viện dẫn một cách quy chuẩn trong tài liệu tiêu chuẩn ISO 14644-14 và không thể thiếu cho việc áp dụng nó. Đối với tài liệu ghi năm chỉ bản được nêu áp dụng. Đối với các tài liệu tham khảo chưa ghi ngày tháng, phiên bản mới nhất của tài liệu được viện dẫn (bao gồm mọi sửa đổi) sẽ được áp dụng.

ISO 14644-1: 2015 , Phòng sạch và môi trường được kiểm soát liên quan - Phần 1: Phân loại độ sạch của không khí theo nồng độ hạt

3. Thuật ngữ và định nghĩa

Đối với mục đích của tài liệu này, các thuật ngữ và định nghĩa sau sẽ được áp dụng.

3.1 Sạch sẽ

Là điều kiện không vượt qua mức ô nhiễm quy định.

3.2 Phòng sạch

Là phòng mà trong đó nồng độ của các hạt trong không khí được kiểm soát và phân loại, và được thiết kế, xây dựng và vận hành theo cách để kiểm soát việc đưa vào, tạo ra và lưu giữ các hạt bên trong phòng.

CHÚ THÍCH 1: Loại nồng độ hạt trong không khí được quy định.

CHÚ THÍCH 2: Mức độ của các thuộc tính độ sạch khác như nồng độ hóa học, nồng độ khả thi hoặc cấp độ nano trong không khí và cả độ sạch bề mặt về độ sạch của hạt, cấp độ nano, hóa chất và nồng độ khả thi cũng có thể được xác định và kiểm soát.

CHÚ THÍCH 3: Các thông số vật lý liên quan khác cũng có thể được kiểm soát theo yêu cầu, ví dụ như nhiệt độ, độ ẩm, áp suất, độ rung và tĩnh điện.

3.3 Phòng sạch phù hợp

Là phòng có khả năng duy trì các thuộc tính hoặc tình trạng kiểm soát quan trọng của bất kỳ vùng sạch nào khi được sử dụng như dự định

CHÚ THÍCH 1: Đối với mục đích của tiêu chuẩn này , việc đánh giá dựa trên nồng độ hạt trong không khí.

tiêu chuẩn iso 14644

3.4 Khu sạch sẽ

Là không gian xác định trong đó nồng độ số lượng các hạt trong không khí được kiểm soát và phân loại, đồng thời được xây dựng và vận hành theo cách để kiểm soát việc đưa vào, tạo ra và lưu giữ các chất gây ô nhiễm bên trong không gian

CHÚ THÍCH 1: Loại nồng độ hạt trong không khí được quy định.

CHÚ THÍCH 2: Mức độ của các thuộc tính độ sạch khác như nồng độ hóa học, nồng độ khả thi hoặc cấp độ nano trong không khí và cả độ sạch bề mặt về độ sạch của hạt, cấp độ nano, hóa chất và nồng độ khả thi cũng có thể được xác định và kiểm soát.

CHÚ THÍCH 3: (Các) vùng sạch có thể là không gian xác định trong phòng sạch hoặc có thể đạt được bằng thiết bị phân tách. Một thiết bị như vậy có thể được đặt bên trong hoặc bên ngoài phòng sạch.

CHÚ THÍCH 4: Các thông số vật lý liên quan khác cũng có thể được kiểm soát theo yêu cầu, ví dụ như nhiệt độ, độ ẩm, áp suất, độ rung và tĩnh điện

3.5 Khử nhiễm

Làm giảm các chất không mong muốn đến một mức xác định

3.6 Trang thiết bị

Là hệ thống được thiết kế cho (các) chức năng cụ thể, tích hợp vật liệu, thành phần và / hoặc điều khiển

VÍ DỤ: Thử nghiệm và sản xuất thiết bị và máy móc, thiết bị vận chuyển và xếp dỡ, thiết bị lưu trữ, công cụ, đồ nội thất, cửa, trần nhà, phần cứng Công nghệ thông tin (CNTT) và robot xếp dỡ.

3.7 Môi trường thử nghiệm

Là không gian mà thử nghiệm được thực hiện, được mô tả bởi một tập hợp các tham số

https://www.youtube.com/watch?v=S91Or928gkI&t=36s

4. Tài liệu tiêu chuẩn ISO 14644-14

Bạn có thể xem bộ tài liệu tiêu chuẩn ISO 14644-14 bản tiếng anh Tại Đây.

Từ khóa: